主要描述 根据目前普遍使用的真空镀膜设备扩散泵, 研发出目前最新型节能的电磁感应加热方式来进行扩散泵加热. 电磁加热的热效率达95%以上, 可以在很大程度上改变旧式电阻丝感应加热的所有问题. 电磁加热是由高频电流通过电磁感应线盘, 产生无数电磁效应涡流, 涡流的磁力线穿透带有磁性的金属, 使得金属物质自生自行发热, 从而达到高温的目的. 电磁加热优势在于: 速度快,效率高,工作稳定,安装和改造简单(只需要将原电炉盘的三相电源线接入即可),操作方便.
8-15KW扩散泵电磁加热器的特点:
1、方便安装拆卸以及扩散泵的维修保养;
2、安装后不影响真空、不影响产品,更不影响做一炉产品的时间;
3、维护方便,随时可换上备用机代替;
4、升温速度快,一台直径800mm的扩散泵经过电磁加热器节能改造后,只需35-40分钟内即可升温到230度,每小时用电7-8度;
5、采用专用屏蔽罩,大大减小磁场的辐射;
6、外观精美,加热线圈盘和固定耳朵可按用户需求定制;
7、电磁加热用的线盘热量低的,设备停机后很快就可以把冷却泵停掉,从而也节省了冷却泵的用电量;
8、电磁加热对镀材纯度的蒸发要求达到99.9%就可以了,而且蒸发温度温度,可避免镀材的飞溅现象,薄膜不会出现针孔的效果,提高了产品的合格率!